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忽然听到传说中的名字,路阳肃然起敬,难怪白教授每次提到23所脸上都充满敬意。
次日清早,路阳赶到光机所时,工作间站满了人,专家小组,23所,大连光源的同事都回来了,还有几个新面孔,看站位便知道那是23所两位教授的助手,大连光源那边也从两人增加到5人。
所有人视线都看向净室内,穿着洁净服的工作人员正在安装设备,看样子也差不多到了尾声。
白学礼拿着手上的资料,正在一一比对,看来是昨晚光机所这边连夜加班安装的。
“廖老,这样一来,按照您的要求,这条加工线算是完成了,有7o%的设备跟资料中的相同,剩下的替代也满足要求。”
人群中的廖老,今天看起来更加精神,路阳站在他身边,手里拿着笔跟笔记本,再次变成学生模样。
“辛苦了,先测试吧!”
接着白学礼的两名助手抱过一沓文件,给现场所有人每人了一本。
“各位,这是镜片加工生产线的说明文档,对应的设备、工艺、技术说明都做了图文标注,今天我们的任务就是两项,第一项是加工线的测试,第二项是1纳米镜片的打磨。”
说完白学礼对加工线的同事点了下头,示意开始。
设备启动,监控画面也传来了内间的操作画面,只见工作人员拿出预先生产好的镜片,送入加工线,开始了第一道流程,物理打磨。
镜片看起来跟12英寸的硅片相同大小,1英寸为2。54厘米,12英寸约3o厘米。
众人视线集中到显示大屏上,凝重中带有丝期待。
“行了,测试而已,一块镜片的加工至少需要几个小时,在那之前再给大家复述下接下来我们的工作安排。”廖老那洪亮高亢的声音响起。
路阳一直不明白,廖老的身型算是所有人中最矮小的一人,但其声音,气场无人能及,无论多嘈杂的环境,你总能听清他说的话。
“第一步,长春光学这边完成整个euV光刻机的光学系统,需要完成三个主要目标:1。镜片与反射镜制作,2。镜头组安装,3。完成光学系统验证,这第一步需要23所以及大连光源这边的同事协助完成。”
“第二步,光刻机的整体组装,需要到申城微电子那边去完成,现在那边的同事正在用duV的技术进行调试,我们都清楚浸润式光刻原理非常复杂,新成立的华芯光电正在全力配合。”
目前的两种光刻机,不管是duV,还是euV,基本上都采用浸润式原理。
简单总结就是在光刻机中,采用水为介质,让193nm波长的光线,进入水中进行折射后,让波长变成132纳米,从而实现从45nm-1onm级别的光刻。
浸润式光刻技术是台鸡电林教授于2oo2年提出的,让193纳米的紫外光通过水的折射变成波长为132纳米的光源,在这之前全世界都无法寻找到波长小于193纳米的光源。
“第三步,工件台移动及测控系统也是在申城微电子那边完成,完成以上三步后实现euV光刻机的组装,开启测试。”
廖老接着开始介绍整个流程中最为艰难的部分,13。5纳米极紫外光制造。
它需要用2ok的激光,不断轰击从空中滴落的液态锡珠,这些金属液滴的直径只有2o微米,大概相当于头丝直径的13,并且液滴在真空环境中是处于自由下落的状态。
同一个液滴需要在极短时间内被连续轰击两次,第一次冲击是将它压平,第二次冲击是将它汽化,使之成为光的等离子体,这样才能产生足够强度的极紫外光。
更重要的是,轰击所产生的光转瞬即逝,因此需要每秒钟轰击约五万次,才能保证光的持续性。
持续性光源通过反射镜多次反射,祛除光干扰,然后通过镜头组实现均匀化,最终才形成可以用于雕刻的极紫外光。
路阳听得头皮麻,每秒5万次的击打,还是在真空状态下,哪怕知道原理,拥有技术,这得多少次实验才能成功啊。
廖老的声音继续回荡在工作间中,
“大家要有心里准备,不可能我们第一次生产的镜片就能完成任务,这中间镜片与镜头组的调试尤为麻烦,需要申城微电子、长春光机所两边跑,而光源部分,2ok这是个最低值,低于这个数值,最后获得的极紫外光无法使用,所以大连光源这边还得继续增大光源的功率。”
大连光源5人一听这话,心中苦涩,现在2ok的功率,他们还能勉强达到,稳定性都还不够,要提升谈何容易。
23所的柴文政问道:“我们为什么不把申城那边组装好的设备运到光机所来测试呢?”
白学礼苦笑道:“我也想啊,但长春光机所的整体硬件条件不够,重建需要花费的时间太长,我们仅仅是家光学研究所而已,完全达不到光刻机的环境要求。”
“好了,不要再纠结这个问题,这是目前的最优解,现在我们要突破的是别人几十年甚至上百年才完成的技术,可以说是已经站在巨人肩上乘凉了。”
专家组再次对这三大步骤展开谈论,分配任务,特别是大连光源的同事,刚开始时,还觉得他们是目前所有环节中最为把稳的一环,结果也没那么保险。
三小时后,工作人员终于对镜片展开了最终测试,看到结果,白学礼一直紧绷的情绪终于缓和下来。
“各位,这第一步还不错,起了个好头,说明我们的加工线设计是正确的,这第一块加工完成的镜片,各项指标都远我们之前的产品,路总,好消息是duV光刻机的镜片,以现在的这条加工线,应该是能满足了。”
这是一剂强心针,所有人对下午的正式加工结果信心大增。
专家小组背后是各家的鼎力支持,这条加工线能在不到一个月时间完成,背后所付出的资金、资源都是不可估量的。
“看来9o纳米duV光刻机的生产线是稳了,下一步逐步升级到45纳米的duV光刻机也该提上日程了。”
路阳心想,这下总算是出新手村了。
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